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第三十四章 国产第一台极紫外光刻（第1页）

随着中控室的一声令下，科研人员在控制面板输入了指令。

不一会儿，机械臂吸附起了一块12英寸的晶圆。

放入正在传送的履带之后，晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。

旁边的操作人员紧张的汇报着数据。

因为过于紧张，连声音都有些颤抖。

“报告……系统程序启动成功！”

“电压稳定设备运行正常！”

“监控设备运行正常！”

“eda软件运作正常。”

“……”

一个个汇报声传来，每一个声音都是对一个步骤的确认。

在各个工序全部确认完毕之后，极紫外光刻机终于启动了！

“光源放光！”

此时整个研究室鸦雀无声，落针可闻！

看着屏幕的缓缓拖动的进度条，大家仿佛开始在幻想，光刻机里正在发生的事情。

由40千瓦驱动的深紫外光脉冲照射在从方滴落的液态金属锡，金属锡被轰成等离子体，随后光源再次放光，深紫外光闯过离子态的锡雾，变成了极紫外光的动感光波。

光线闯过透镜组，经过重重聚焦集束，随后反射折射，最终落在移动工件台的表面。

台托着的硅片被光线照射，表层的光刻胶因为曝光而疲软溶解，晶体管的纹路就如同雨后春笋一样冒了出来。

没错，光刻机不是用光来雕刻硅片，而是用光来腐蚀“见光死”的光刻胶。

陆晨仿佛可以听到，机器中滴落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。

其实这个过程发出的声音，以人类的耳朵根本不可能捕捉。

但是他总感觉能隐约听到，那种光脉冲释放时发出的，仿佛急促大风的呼啸声。

除了仪器发出的细微声响之外。

整个净室，哪怕大家相距胜远，都能听到彼此的呼吸和心跳！

陆晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕，看着显示屏幕的光刻进度条。

进度条一点点的衍生，他的手心微微发汗。

这是他第一次负责这种国家级的项目，紧张在所难免。

最关键的是，他已经完成了全部的问题排查！

各个部门，各个小组！

甚至每一个人的工作。

全部被他查了一遍！

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