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第一百八十四章 科技桂冠技术难（第1页）

184科技桂冠技术难

夏盛麒麟公司是在4118年10月正式成立的一家专攻光刻机和高端芯片的企业，由夏为公司和鸿盛公司抽调精兵强将组建的。

董事长由夏为尹总担当，王守柱和王媛为副董事长，余向东为CE0，张冲志为隐形技术总监。

光刻机的设计已由张冲志借助黑星，并且融合兰斯麦和尼康的技术，优化后设计出来。

芯片生产线也由张冲志结合长岛国、东罗马国、新陆国等最先进的技术，优化改进后设计出来。

其中许多关键设备都由轩辕鸿盛集团制造出来，这条生产线一旦建设完成，将成为世界上最先进的生产线，没有之一，是超越叶积电的存在。

这接近一年的时间里，整个夏盛麒麟公司的所有员工在研究各种材料，不停地试错，争取寻找到一种材料，加工成零部件，装配到光刻机上，使光刻机发挥出设计的功能来。

公司同时研发制造三台光刻机。

现在购买一台兰斯麦超浸润光刻机是1.5亿新元以上，而夏盛麒麟公司的研发费用是它的许多倍。

即使有张冲志的设计和鸿盛集团强悍的零件加工能力，每台研发费用也最少在4亿新元以上。

再加上芯片生产线，夏盛麒麟公司这段时间已吞金200亿玄元以上，外界却没有听到一点响动。

虽然有些视频、报纸不时出个“标题党”，忽悠一下大众，内容全是扑风捉影，引不起什么动静来。

三台光刻机的加工精度当时是2纳米，可是在制作过程中，夏盛公司发现这个难度太大，于是就降低了一下标准，计划先制造生产5纳米芯片的光刻机。

现在各项工作已完成95%，只剩余5%没有完成，但是就这5%才是这光刻机的核心所在，体现了科技制造水平的高低。

就象你将一门大炮全部都造好了，最后发现无法造出大炮发射拴，那这门大炮也就失去了作用。

张冲志进了夏盛公司，换好无尘服直接去了三台光刻机的组装车间，兜里装着黑星。

这个装配车间是在地下，为恒温无尘车间，由于没有最后完成，所以外壳没有按装上，裸露着各种导线和零件。

但没有实验里那样粗糙的工艺，所有的零件看上去乱中有序，当你再仔细观察时，就会有种精美艺术品的感觉。

你会发现所有能利用的空间都被利用起来，每一根细线都在它应该在的位置上，这就是经过优化后的设计，那怕是裸露着，也给人一种美感。

光刻机包含着13个分系统，3万多个机械体，200多个传感器，要想保证光刻机正常运行，每一步的准确率必须达到99.99%以上，尺寸的调整要达到百万次以上。

兰斯麦每年只能生产20台，每一台都被人虎视眈眈的订着。

超浸润光刻机的光源波长为13.5纳米，被称为极紫外光源，经过收集后的功率为250w。

该光源产生的二氧化碳激光，要求必须精准打击到由发射装置发射出每秒高达50万滴的纯锡滴靶上面。

每一滴锡滴靶的直径为30微米，锡滴被蒸发后还不能污染反光镜。

镜头是光刻机的第二难点，由于超浸润极紫外光线太短，除了被空气吸收还会被玻璃吸收，所以采用反光镜。

镜面采用钼和硅制成的特殊膜，镀到反光镜的镜面才有效果，这些镜面凸起幅度不能超过0.3纳米，而镜面的直径是30厘米。

整个镜头采用布拉格反射器，但是每经过一次反射，极紫光的强度就要损失十分之三的能量。

而兰斯麦的光刻机中有11个反光镜，也就是说光源要经过11次反射后才能到达晶圆，在晶圆上刻线，最终仅能剩余2%的光线能量，所以对光源发射功率要求较大。

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